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CS200-C型 數字式氣體質量流量控制器高質量金屬表面產品，高精度，多氣體多量程，自動調零，量程2sccm-30slm，表面處理：表面粗糙度16Ra或10Ra；電拋光Cr/Fe ratio >2.0；鈍化CrO thickness >20 Angstroms，全金屬密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet
CS200-C型 數字式氣體質量流量控制器高質量金屬表面產品，高精度，多氣體多量程，自動調零，量程2sccm-30slm，表面處理：表面粗糙度16Ra或10Ra；電拋光Cr/Fe ratio >2.0；鈍化CrO thickness >20 Angstroms，全金屬密封，通訊方式：模擬0-5V、模擬0-10V、數字485、DeviceNet
| 產品型號 | CS200-C |
| 量程(N2) | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM |
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | |
| 精度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
| ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |
| 重復精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±0.5% FS |
| 響應時間 | ≤0.8 sEC |
| 閥類型 | Normally Closed or Normally Open |
| 溫度系數 | Zero ≤±0.02% F.S./℃；Span: ≤±0.05% F.S./℃ |
| 零點漂移指標 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
| 表面粗糙度 | 10 µinch |
| 工作環境溫度 | （0～50）℃ |
| 輸入信號 | Digital:RS485/DeviceNet/Profibus Analog:(0～5)VDC(default)/ (4～20)mA/(0～20)mA |
| 模擬流量輸出信號 | 0-5V和4-20mA |
| 模擬流量控制信號 | 0-5V和4-20mA |
| 電源要求 | ±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC(400mA) |
| 電氣連接 |
D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male DeviceNet male+Analog Output，Profibus |
| 工作壓差范圍 | (0.05～0.35) Mpa（≤10slm） (0.1～0.35) Mpa（>10slm） |
| 最大耐壓 | 3MPa |
| 漏率 | 1×10-10 atm·cc / sec He（1×10-11 Pa·m3 / sec He） |
| 密封材料 | metal,Stainless Steel VV, 5Ra |
| 表面化學成分 | Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 |
| 接頭尺寸 | VCR1/4” M 雙卡套&pHi;6，雙卡套1/4” W-seal，C-seal |
| 重量 | 1.2kg |